BF₃≥99.999%

CO＜0.5ppm

CO₂＜0.5ppm

N₂＜1ppm

O₂＜3ppm

SiF₄＜2ppm

SO₂＜2ppm

硫酸盐（Sulfates）＜0.5ppm

THC（以甲烷计）＜0.5ppm