纯度≥99.999%

丰度≥99.8%

CO₂＜15ppmv

N₂＜15ppmv

O₂/Ar＜15ppmv

SiF₄＜15ppmv

SO₂＜15ppmv

HF＜15ppmv

包装:300g钢瓶